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                  1. 首頁 >> 凈化工程 >> 潔凈室標準 >> 潔凈室標準

                     

                    潔凈室標準規格說明(一) 
                      目前世界各國雖有自訂規格,但普遍還是采用美國聯邦標準209為多,今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯邦標準209D之潔凈室規格。

                    表1-1 美國聯邦標準209D潔凈室規格

                    潔凈室等級(Class)

                    微塵粒子 壓力 溫度 風速與換氣率(次/hr) 照度lux
                    粒子大小um 粒子數目Particles/ft3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 誤差值℃ 大MAX% 小MIN% 誤差%

                    層流方式0.35~0.55 m/s

                    1080

                    ~

                    1620

                    1 ≧0.5 ≦1
                    >1.3
                    19.4~25
                    22.2 ±2.8

                     

                    ±1.4

                    45 30 ±10

                     

                    ±5

                    ≧5.0 0
                    10 ≧0.5 ≦10
                    ≧5.0 0
                    100 ≧0.5 ≦100
                    ≧5.0 ≦1
                    1000 ≧0.5 ≦1000
                    亂流方式≧20 次/hr
                    ≧5.0 ≦10
                    10000 ≧0.5 ≦10000
                    ≧5.0 ≦65
                    100000 ≧0.5 ≦100000
                    ≧5.0 ≦700
                      至于209E和209D等大之不同點在于209E表示單位增加了公制單位,即潔凈室等級以“M”字頭表示,如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此類推,其目的在于配合國際公制單位之標準化。M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中≧0.5um之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,而取指數為之;若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間(即非整數,則以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即為1992年9月新頒布之聯邦標準209E之內容,前述之M字母后的數字,可從表中0.5um列的數值中求出,讀者可試算之。

                    表1-2 美國聯邦標準209E

                    潔凈度等級

                    微塵粒子

                    0.1um

                    0.2um

                    0.3um

                    0.5um

                    5um

                    單位

                    單位

                    單位

                    單位

                    單位

                    公制

                    英制

                    (m3)

                    (ft3)

                    (m3)

                    (ft3)

                    (m3)

                    (ft3)

                    (m3)

                    (ft3)

                    (m3)

                    (ft3)

                    M1

                     

                    350

                    9.91

                    75.7

                    2.14

                    30.9

                    0.875

                    10.0

                    0.283

                    -

                    -

                    M1.5

                    1

                    1240

                    35.0

                    265

                    7.50

                    106

                    3.00

                    35.3

                    1.00

                    -

                    -

                    M2

                     

                    3500

                    99.1

                    757

                    21.4

                    309

                    8.75

                    100

                    2.83

                    -

                    -

                    M2.5

                    10

                    12400

                    350

                    2650

                    75.0

                    1060

                    30.0

                    353

                    10.0

                    -

                    -

                    M3

                     

                    35000

                    991

                    7570

                    214

                    3090

                    87.5

                    1000

                    28.3

                    -

                    -

                    M3.5

                    100

                    -

                    -

                    26500

                    750

                    10600

                    300

                    3530

                    100

                    -

                    -

                    M4

                     

                    -

                    -

                    75700

                    2140

                    30900

                    875

                    10000

                    283

                    -

                    -

                    M4.5

                    1000

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    35300

                    1000

                    247

                    7.00

                    M5

                     

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    100000

                    2830

                    618

                    17.5

                    M5.5

                    10000

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    353000

                    10000

                    2470

                    70.0

                    M6

                     

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    1000000

                    28300

                    6180

                    175

                    M6.5

                    100000

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    3530000

                    100000

                    24700

                    700

                    M7

                     

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    -

                    10000000

                    283000

                    61800

                    1750

                      美國聯邦標準FS 209D 都以英制每立方英尺為單位,而日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位;另外209D與日本JIS(B9920-1989)標準中另一不同點為209D是以0.5um之粒子數為計數基準,而日本則以0.1um微粒子為計數標準。日本標準之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示,即好之等級為Class1,差則為Class8,表1-3為日本JIS(9920-1989)之標準規定的粒子上限數(個/m3)。其Class1,Class2...之數目字以0.1um粒子為基準,而以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10之冪次方,取其指數而得。

                    表1-3 日本JIS(9920 ~1989)標準

                    粒徑級數 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5 Class6 Class7 Class8
                    0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
                    0.2 2 24 236 2,360 23,600 - - -
                    0.3 1 10 101 1,010 10,100 101,000 1,010,000 10,100,000
                    0.5 - - 35 350 3,500 35,000 350,000 3,500,000
                    5.0 - - - - 29 290 2,900 29,000

                     

                    資料來源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

                     

                     

                     

                    潔凈室標準規格說明(二)
                      在德國工業及醫學等之多數領域中,潔凈室是為相關產業界所重視和期望發展之技術,因此在1967年完成了德國的潔凈室規格,在德國規格中潔凈室等級之表示法與美國規格不同,其表示法是以4*10”的形式表示粒徑0.5um以上之粒子數,而以其中之指數n規定等級,如4*103 即表示等級為3,此等級與美國聯邦規格Class100想近似。表1-4為德國規格所容許之粒子數與美國、法國、近似等級之表示。

                    表1-4 德國規格表

                    等級 微塵粒徑(um) 與別國等級比較
                    0.5 1 5 美國 法國
                    3 4*103 1*103 - 100 4000
                    4 4*104 1*104 0.03*104 - -
                    5 4*105 1*105 0.03*105 10000 400000
                    6 4*106 1*106 0.03*106 100000 4000000

                    表1-5為美國聯邦標準209D標準粒子之數目上限值(個/ft3)(以0.5u粒子為依準)。由于美國與日本之規格中所表示之單位分類不同,為讓使用人員有一快速之獲知二者之相近標準等級,以期運用于工作上,故有必要將二者之間做一潔凈度級別之換算,如表1-6

                    表1-5 美國209D規定粒子數(上限值)

                    等級 Class1 Class10 Class100 Class1000 Class10,000 Class100,000
                    0.1 35(1,225) 350(12,250 - - - -
                    0.2 7.5(263) 75(2,630) 750(26,300) - - -
                    0.3 3(105) 30(1,050) 300(10,500) - - -
                    0.5 1(35) 10(350) 100(3,500) 1000(35,000) 10,000(350,000) 100,000(3,500,000)
                    5.0 - - - 7 70 700
                    *()內之數值單位:個/M3。

                    表1-6 美日潔凈度級別換算

                    日本 美國
                    級別3 Class 1
                    級別4 Class 10
                    級別5 Class 100
                    級別6 Class 1000
                    級別7 Class 10000
                    級別8 Class 100000

                      除了美國、日本、德國、之潔凈室標準外,世界上尚有英國、法國、澳洲及韓國、中國大陸之規格,表1-6即為世界各國潔凈度等級規格之比較。

                    表1-6 世界各國潔凈度等級規格表

                    國名 美國 美國 日本 英國 德國 法國 澳洲 韓國 中國大陸
                    規格 FS209D FS209E JIS B 9920 BS 5295 VDI 2083 AFN 4410 AS 1386 KS QJ2214
                    年度 1988 1992 1989 1989 1990 1981 1989 1991 1991
                    基準粒子(um) 0.5 0.5 0.1 0.5 1 0.5 0.5 0.3 0.1 0.5
                    單位 pcs/ft3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3 pcs/M3
                    Class - - 1 - - - - M1 0.1um ~1
                    - M1 2 - 0 - - M10 0.1um ~5
                    1 M1.5 3 C 1 - 0.035 M100 0.1um ~10
                    10 M2.5 4 D 2 - 0.35 M1000 1
                    100 M3.5 5 E or F 3 4,000 3.5 M10000 100
                    1000 M4.5 6 G or H 4 - 35 M100,000 1,000
                    10,000 M5.5 7 I 5 400,000 350 M1,000,000 10,000
                    100,000 M6.5 8 J 6 4,000,000 3500 M10,000,000 100,000
                    - M7 - K 7 - - - -
                    - - - L - - - - -
                    *以0.5um為區別。

                     

                    資料來源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

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